リソグラフィー(lithography)・・・その２
フォト・レジストは紫外線に当たると感光し、重合して有機溶剤に溶けなくなります。
したがって酸化シリコン膜で取り除きたい所には光が当たらないようにマスクをかけます。
これをシリコン基板と一体にして紫外線を当てます。
ちょうど写真の密着焼に似ています。
感光していない部分を有機溶剤で取り去った後、酸化シリコンだけを溶かす溶液で処理します。
最後に残ったフォト・レジストを除去し、水洗いすれば必要なパターンの酸化シリコン膜がシリコン基板上に得られます。
このほかに１９６８年ごろから開発が進められてきた電子ビームを用いた電子ビーム・リソグラフィーや最近注目されてきたイオンビーム・リソグラフィーがあります。
イオンビームによる微細パターンの限界は電子ビームより小さいと考えられ、開発研究が行われています。
リソグラフィー(lithography)・・・その１
蝕刻技術。
元来は石版術、平板印刷の意に用いられていたが最近では専ら集積回路を製造する過程で用いられる技術の意味に使われており、シリコンなどの基板上にレジスト薄膜による微細な回路パターンを形成する技術のことをいいます。
紫外線を用いるリソグラフィーをフォト・リソグラフィー(photolithogra-phy)といい、次のような技術です。
酸化シリコン膜の上にフォト・レジストと呼ばれる感光性樹脂膜を塗布して乾燥させます。
●リスポンス・タイム
反応時間。
ある刺激を与えたことにより、ある特定の現象が生じるのに要する時間をいいます。
●リセッション(recession)
一時的で軽微な不景気。
景気の一時的な調整過程としての景気後退。
一般的な不景気・景気後退として用いられることも多いため、不況に至らないような軽微な景気後退をミニ・リセッション(minirecession)と呼ぶこともあります。
材料は4人分で、
ナス3、4コ
なるべく肉厚のピーマン4、5コ
玉ねぎ小1コ
トマト中3コ
キュウリ1本
刻みパセリ大サジ1杯
味付けに、サラダオイル(好みでオリーブオイルでも)、ワインビネガー、塩、コショー。
ナスとピーマンは焼きナスの要領で、グリルか直火で、皮に焦げ目がつくまで焼いて皮をむき、ピーマンはタネも除いて、冷めたら7、8ミリ角に切っておきます。
そのほかの野菜は生のまま。玉ねぎは粗めのみじん切り。
トマトは8ミリ厚に輪切りにしてタネを除いて角切り、キュウリも同じくらいに。
切った材料をボウルに入れて、サラダオイル大サジー杯、塩小サジー杯、ワインビネガー小サジ2杯、コショーで味をつけ、刻みパセリも入れて、木べらでよく混ぜ合わせます。
味をみて、好みに味加減をして出来上がり。
ラップをして、冷蔵庫でしばらく寝かせます。
習ったときは、ブルガリアの白チーズと一緒に食べるとのことでしたが、これだけで、十分おいしいサラダです。
四十年も昔にデュッセルドルフにいたときに、ドイツ語を覚える助けにと、地域の初心者向け料理教室に参加したのですが、これはそのときに教わって、以来、夏になると我が家の食卓に登場し、いまでは、我が家の定番になったサラダです。
焼いたナスと、同じように焼いたピーマンを使うのが、普通のサラダとちょっと違います。
材料をぜんぶハの目切りにして混ぜ合わせて冷やし、味がしみたところをスプーンでいただきます。
野菜がたくさん食べられるし、作り置きがきき、朝食にも便利なので、ご紹介します。
登戸から奥多摩までは神奈川県側、南多摩から立川までは東京都側を歩きました。
「多摩川歩きをしているのよ」と友人に話したら、『父と子の多摩川探検隊』(遠藤甲太著・平凡社刊)という面白い本をプレゼントしてくれました。
中学生の息子と登山家の父親が多摩川を源流まで、神奈川県側を歩くこと、水際を歩くことにこだわって、道なき道を、時には川の中をも歩いていきます。
同じ多摩川歩きでもかなり違います。
次回はいよいよ青梅線に沿って、あきしま最大の難関、立川駅から昭島駅までを歩きます。
立川駅からは多摩川の近くまでモノレールに乗れますが、昭島駅は川からかなり離れているので、全部で10キロ近く歩くことになります。
お昼休みをたっぷりとって、一日かけて歩く予定です。
昭島駅から終点の奥多摩駅までは遊歩道がなく、川沿いを歩けないところも増えてくるでしょう。
遠藤親子とはちがい、川の中は歩かず普通の道を行きたいと思います。
これからどんどん上流に向かって歩いていけば、自然も豊かになっていくと楽しみにしています。
川の土手に沿ったサイクリングロードは、視界が開けて見晴らしがいいのですが、自転車がかなりのスピードで走り抜けていくので、気を遣います。
河川敷のところどころにある遊歩道では川の近くを歩けますが、ゴルフ場や野球場で道が途切れ、逆戻りしたこともありました。
それでも、川沿いを歩くのはとても気持ちがよく、川面のきらめきや水が流れる音は、心を落ち着けます。
7回めで、やっと南武線の終点、立川にたどりつきました。
歩き始めた頃に比べると、だいぶ風景も変わり、川沿いはのどかな雰囲気で、鳥の声も聞こえ、目の前には奥多摩の山々が広がります。
多摩川の東京都側、神奈川県側のどちらを歩くかは、インターネットのグーグル.マップで地図や航空写真を見て、なるべく遊歩道が川に近いほうを選びます。
多摩川沿いを歩き始めました。
多摩川は東京都と神奈川県の境を流れる一級河川で、上流には奥多摩湖があります。
川歩きの利点は、迷わないこと、近くに鉄道の駅があって少しずつでも歩けること、上り下りが無くほとんど平らなことです。
2年前に交通事故で足を骨折したので、階段や坂は苦手になり、ハイキングは不安な私でも、川歩きは安心です。
以前イギリスで、きちんと整備されたテムズ川の遊歩道を歩いたことがありました。
日本でも川沿いの道を歩きたいと探していたら、多摩川沿瀞にサイクリングロードがあるのを見つけて、歩いてみることにしたのです。
上流に向かうことに決め、京浜急行の六郷土手駅まで電車で行き、対岸に渡り、神奈川県側を歩き始めました。
一回に4～6キロ(1～2時間)ずつ、ゆっくり歩いています。
エジプトではたくさん作られ、カルカデといって、どこでも飲むことができます。
大事にして毎日は飲まないので、ここしばらくは、ご無沙汰していました。
密閉してある缶を開けると、ふうっと懐かしい香りがします。
お茶の滝れ方は簡単です。
カラカラに乾いた濃い嚥脂色のハイビスカスの花ひとつまみに、熱湯を注ぐだけ。
カイロで出されたものは、少し甘みがつけてありましたが、家では甘みはつけません。
お湯を沸かして注ぎ、濃いワイン色に出たのを冷やすと、ジュースとも麦茶とも違う、程よい酸味が好評です。
ベランダのハイビスカスの花を見ながら、さっぱりと冷えたハイビスカスのお茶を飲む......。
今年も、ハイビスカスに元気をもらって過ごすことになりそうです。
調べてみると、ハイビスカスは世界の熱帯、亜熱帯、温帯地方に広く分布していて、すぐ頭に浮かぶアロハシャツの絵柄のような一重の花だけでなく、八重咲きのものや、直径が25センチもあるものなど、約200種もあるそうです。
また、ハイビスカスの語源は、エジプトの美の神、Hibisと、ギリシャ語のiSkO(似ている)かぶうそうげらきていて、日本には仏桑華という名前で、はじめに琉球に伝わりました。
ハワイの州花、マレーシアの国花、沖縄市の市花にも指定されていますから、
やはり暑いところや季節にふさわしい花なのでしょう。
エジプトの神ということで、そういえば、しばらく忘れていた「ハイビスカスのお茶」を思いだしました。
こちらとの出会いは、2年前のエジプト旅行のときでした。
最後の日に訪れたカイロの宝石店で出された、赤ワインそっくりのあざやかな色と、酸味の利いたすっきりした口当たりが気に入って、ガイドのナセルさんに案内を頼んで、市場で一番上等なものを買ってきたのです。