リチウム(lithium)
原子番号３、原子量６.９４。
アルカリ金属元素のうち最も軽く、また水素、ヘリウムに次いで３番目に軽い元素。
記号Li。
地上の存在量は多くないが(０.６％)、鉱物中に広く分布し、名前も石(lithos)にちなみます。
金属リチウムは銀白色の金属で、水と反応すしますがナトリウムやカリウムほど激しくありません。
重合反応の触媒原子炉の制御棒、合金などに用いられます。
近年精神分裂病の症状にリチウム塩が効果があるとして注目されていますが確定的ではありません。
2010年8月アーカイブ
リソグラフィー(lithography)・・・その２
フォト・レジストは紫外線に当たると感光し、重合して有機溶剤に溶けなくなります。
したがって酸化シリコン膜で取り除きたい所には光が当たらないようにマスクをかけます。
これをシリコン基板と一体にして紫外線を当てます。
ちょうど写真の密着焼に似ています。
感光していない部分を有機溶剤で取り去った後、酸化シリコンだけを溶かす溶液で処理します。
最後に残ったフォト・レジストを除去し、水洗いすれば必要なパターンの酸化シリコン膜がシリコン基板上に得られます。
このほかに１９６８年ごろから開発が進められてきた電子ビームを用いた電子ビーム・リソグラフィーや最近注目されてきたイオンビーム・リソグラフィーがあります。
イオンビームによる微細パターンの限界は電子ビームより小さいと考えられ、開発研究が行われています。