リソグラフィー(lithography)・・・その１
蝕刻技術。
元来は石版術、平板印刷の意に用いられていたが最近では専ら集積回路を製造する過程で用いられる技術の意味に使われており、シリコンなどの基板上にレジスト薄膜による微細な回路パターンを形成する技術のことをいいます。
紫外線を用いるリソグラフィーをフォト・リソグラフィー(photolithogra-phy)といい、次のような技術です。
酸化シリコン膜の上にフォト・レジストと呼ばれる感光性樹脂膜を塗布して乾燥させます。
2010年7月アーカイブ
●リスポンス・タイム
反応時間。
ある刺激を与えたことにより、ある特定の現象が生じるのに要する時間をいいます。
●リセッション(recession)
一時的で軽微な不景気。
景気の一時的な調整過程としての景気後退。
一般的な不景気・景気後退として用いられることも多いため、不況に至らないような軽微な景気後退をミニ・リセッション(minirecession)と呼ぶこともあります。